Di salên dawî de, bi pêşkeftina teknolojiyên yekbûyî (IC) re, serîlêdanên têkildar ên dorhêlên yekbûyî bi lez pêş ketin.Hedefa rijandina alema aluminiumê ya bi paqijiya pir bilind, wekî materyalek piştgirî di çêkirina têkelên metal ên yekbûyî de, di lêkolîna navxweyî ya vê dawiyê de bûye mijarek germ.edîtorê RSM-ê dê taybetmendiyên paqijiya bilind a aluminium-ê hedefa şilandinê nîşanî me bide.
Ji bo ku hê bêtir karbidestiya şûştinê ya mebesta kişandina magnetronê baştir bikin û qalîteya fîlimên depokirî misoger bikin, hejmareke mezin ji ceribandinan destnîşan dikin ku ji bo pêkhatin, mîkrostruktur û rêwerziya gewrê ya armanca şûştina alaya aluminiumê ya paqijiya ultra-bilind hene.
Pîvana genim û arastekirina dexlê armancê bandorek mezin li ser amadekirin û taybetmendiyên fîlimên IC-ê dike.Encam nîşan didin ku bi zêdebûna mezinahiya genim re rêjeya depokirinê kêm dibe;Ji bo hedefa rijandinê ya bi heman pêkhateyê, rêjeya rijandina hedefa bi gewherê piçûktir ji ya hedefa bi gewherê mezin zûtir e;Her ku mezinahiya genimê armancê yekdengtir be, belavkirina qalindahiya fîlimên depokirî jî yekrengtir e.
Di binê heman amûra şûştinê û pîvanên pêvajoyê de, rêjeya avêtina hedefa alava Al Cu bi zêdebûna tîrêjiya atomê re zêde dibe, lê ew bi gelemperî di navberekê de domdar e.Tesîra gewhera genim li ser rêjeya sputtering ji ber guherandina dendika atomê bi guhertina mezinahiya genim e;Rêjeya hilweşandinê bi giranî ji hêla rêgeziya genim a hedefa alloya Al Cu ve tê bandor kirin.Li ser bingehê dabînkirina rêjeya (200) firokeyên krîstal, zêdebûna rêjeya (111), (220) û (311) firokeyên krîstal dê rêjeya razanê zêde bike.
Pîvana dexl û arastekirina dexlê hedefên alema aluminiumê ya paqijiya ultra-bilind bi gelemperî ji hêla homojenkirina ingotê, xebata germ û vejenkirina ji nû ve têne rêve kirin û kontrol kirin.Bi pêşkeftina mezinahiya waferê bi 20.32cm (8in) û 30.48cm (12in), qebareya armanc jî zêde dibe, ku ev hewcedariyên bilindtir ji bo armancên şûştina aligirê aluminum-ê paqijiya ultra-bilind derdixe pêş.Ji bo ku qalîteya fîlimê û hilberîna fîlimê were misoger kirin, pêdivî ye ku pîvanên hilberandina armancê bi hişkî bêne kontrol kirin da ku mîkrostruktura armanc yekreng be û rêwerziya gewr divê xwedan xêzên balafirê yên bihêz (200) û (220) be.
Dema şandinê: Jun-30-2022