Heya nuha, hema hema hemî armancên sifirê metalê yên paqijiya ultra-bilind ên ku ji hêla pîşesaziya IC-ê ve têne xwestin ji hêla çend pargîdaniyên mezin ên pirneteweyî yên biyanî ve têne monopol kirin.Pêdivî ye ku hemî armancên sifirê yên ultrapaqij ên ku ji hêla pîşesaziya IC-ya navxweyî ve hewce ne werin îtxal kirin, ku ev ne tenê biha ye, lê di prosedurên importê de jî tevlihev e Ji ber vê yekê, Chinaîn bi lezgîn pêdivî ye ku pêşkeftin û verastkirina armancên paqijiya sifir a ultra-bilind (6N) baştir bike. .Werin em li xalên sereke û dijwariyên di pêşkeftina armancên şuştina sifir de bi paqijiya ultra-bilind (6N) binihêrin.
1,Pêşxistina materyalên paqijiya ultra bilind
Teknolojiya paqijkirina metalên Cu, Al û Ta yên paqij ên bilind ên li Chinaînê ji ya welatên pêşkeftî yên pîşesaziyê dûr e.Heya nuha, piraniya metalên paqij-paqij ên ku dikarin werin peyda kirin nekarin hewcedariyên kalîteyê yên dorhêlên yekbûyî yên ji bo şopandina armancên li gorî rêbazên adetî yên analîzkirina hemî elementan di pîşesaziyê de bicîh bînin.Hejmara tevlêbûnên di armancê de pir zêde ye an jî bi rengek neyeksan têne dabeş kirin.Parçeyên bi gelemperî li ser waferê di dema şuştinê de têne çêkirin, di encamê de dorvegerek kurt an çerxa vekirî ya pêwendiyê çêdibe, ku bi giranî bandorê li performansa fîlimê dike.
2,Pêşveçûna teknolojiya amadekirina armanca sputtering sifir
Pêşkeftina teknolojiya amadekirina mebesta avêtina sifir bi giranî li ser sê aliyan disekine: mezinahiya genim, kontrolkirina rêgezê û yekrengî.Pîşesaziya nîvconductor ji bo avêtina armancên û evaporkirina madeyên xav pêdivîyên herî bilind hene.Ew ji bo kontrolkirina mezinahiya gewrê rûvî û rêgeziya krîstal a armancê daxwazên pir hişk hene.Pêdivî ye ku mezinahiya tovê armancê di 100 de were kontrol kirinμ M li jêr, ji ber vê yekê, kontrolkirina mezinahiya genim û navgînên vekolîn û tespîtkirina pêwendiyê ji bo pêşkeftina armancên metal pir girîng in.
3,Pêşveçûna analîzê ûtestkirina teknolocî
Paqijiya bilind a armancê tê wateya kêmkirina nepakîyan.Di paşerojê de, ji bo destnîşankirina nepaqijiyan plasma bi hevgirtî (ICP) û spektrometriya vegirtina atomê dihatin bikar anîn, lê di van salên dawî de, analîza kalîteya dakêşana şewqê (GDMS) bi hesasiyeta bilind hêdî hêdî wekî standard tê bikar anîn. awa.Rêbaza rêjeya berxwedana mayî ya RRR bi gelemperî ji bo destnîşankirina paqijiya elektrîkê tê bikar anîn.Prensîba destnîşankirina wê ev e ku meriv paqijiya metala bingehîn bi pîvandina asta belavkirina elektronîkî ya nepaqijiyan binirxîne.Ji ber ku ew pîvana berxwedanê li germahiya odeyê û germahiya pir nizm e, girtina hejmarê hêsan e.Di salên dawî de, ji bo vekolîna cewhera metalan, lêkolîna li ser paqijiya ultra-bilind pir çalak e.Di vê rewşê de, nirxa RRR awayê çêtirîn e ku meriv paqijiyê binirxîne.
Dema şandinê: Gulan-06-2022