Navê tevahî PVD depokirina buhara laşî ye, ku kurteya îngilîzî ye (depokirina vaporê ya fizîkî).Heya nuha, PVD bi giranî pêlava evaporasyonê, pêlava kişandina magnetronê, pêlava îyona pir arc, depokirina vapora kîmyewî û formên din vedigire.Bi gelemperî, PVD girêdayî pîşesaziya parastina jîngehê kesk e.Li gorî pîşesaziyên din, zirarek hindik li laşê mirovî heye, lê ne bêyî wê ye.Bê guman, ew dikare bi bandor were kêm kirin an jî bi tevahî jêbirin.Li ser tedbîrên pêvekirina valahiya PVD magnetron sputtering, bi parvekirina ji edîtorê RSM-ê, em dikarin zanyariya pîşeyî ya têkildar rasttir fam bikin.
Xalên jêrîn li ser pêlava valahiya PVD magnetron şûştin:
1. Radyasyon: hin pêlav hewce ne ku dabînkirina hêza RF bikar bînin.Ger hêz zêde be, pêdivî ye ku ew were parastin.Digel vê yekê, li gorî standardên Ewropî, têlên metal li dora çarçoweya deriyê makîneya xêzkirina jûreyek yekane têne bicîh kirin da ku radyasyonê biparêzin.
2. Qirêjiya metal: hin malzemeyên xêzkirinê (wekî krom, îndyûm, aluminium) ji laşê mirovan re zirardar in, û di dema paqijkirina jûreya valahiya de divê baldariyek taybetî li qirêjiya tozê were dayîn;
3. Germbûna deng: nemaze ji bo hin alavên xêzkirina mezin, pompeya valahiya mekanîkî pir bi deng e, ji ber vê yekê pomp dikare li derveyî dîwar were veqetandin;
4. Qirêjiya ronahiyê: di pêvajoya xistina îyonê de, gaz îyonîze dike û ronahiya xurt derdixe, ku ne guncaw e ku meriv demek dirêj di pencereya çavdêriyê de binihêre;
Germahiya xebatê ya giştî ya pêlava pelçiqandina magnetron PVD di navbera 0~500 de tê kontrol kirin!
Dema şandinê: Tîrmeh-08-2022