Armanc di gelek waran de gelek fonksiyon û serîlêdanên berfireh hene.Amûrên rijandina nû hema hema magnetên hêzdar bikar tîne da ku elektronan spiral bike da ku îyonîzasyona argonê li dora armancê bilez bike, ku îhtîmala lihevketina di navbera armanc û îyonên argonê de zêde dike.
Rêjeya avêtinê zêde bikin.Bi gelemperî, rijandina DC-ê ji bo xêzkirina metalê tê bikar anîn, dema ku rijandina ragihandina RF-ê ji bo materyalên magnetîkî yên seramîk ên ne-rêvebir tê bikar anîn.Prensîba bingehîn ev e ku meriv vekêşana şewqê bikar bîne da ku îyonên argon (AR) li ser rûyê armancê di valahiyê de bixin, û kationên di plazmayê de dê bileztir bibin ku wekî maddeya şilandî berbi rûbera elektroda neyînî ve biçin.Ev bandor dê dihêle ku materyalê armancê bifire û li ser substratê razîne da ku fîlimek çêbike.
Bi gelemperî, çend taybetmendiyên xêzkirina fîlimê bi karanîna pêvajoya sputterkirinê hene:
(1) Metal, alloy an insulator dikare di daneyên fîlima zirav de were çêkirin.
(2) Di bin şert û mercên mîhengê guncan de, fîlima bi heman pêkhatî dikare ji armancên pirjimar û bêserûber were çêkirin.
(3) Tevlihevî an pêkhateya madeya armanc û molekulên gazê dikare bi zêdekirina oksîjenê an gazên din ên çalak di atmosfera dakêşanê de were çêkirin.
(4) Dema têketina armancê û dema rijandinê dikare were kontrol kirin, û hêsan e ku meriv qalindiya fîlimê ya rast-bilind bistîne.
(5) Ji bo hilberîna fîlmên din sûdmend e.
(6) Parçeyên rijandinî bi zehmetî ji hêla gravîtasyonê ve têne bandor kirin, û armanc û substrat dikarin bi azadî bêne organîze kirin.
Dema şandinê: Gulan-24-2022