1, Amadekirina sputtering
Pir girîng e ku meriv jûreya valahiya, nemaze pergala sputtering paqij bimîne.Her bermahiyek ku ji rûnê rûnê, toz û pêlava berê pêk tê dê hilma avê û gemarên din berhev bike, ku dê rasterast bandorê li pileya valahiya bike û îhtîmala têkçûna fîlimê zêde bike.Kevirek kurt an qertafa armancê, rûbera fîlima zirav û naveroka nepakiya kîmyewî ya zêde bi gelemperî ji hêla jûreya avêtinê ya nepaqij, çek û armancê ve têne çêkirin.Ji bo ku hûn bi taybetmendiyên pêkhateya kincê ve girêdayî bin, pêdivî ye ku gaza rijandin (argon an oksîjen) were paqijkirin û hişk kirin.Piştî ku substrate di jûreya avêtinê de tê saz kirin, pêdivî ye ku hewa were derxistin da ku bigihîje valahiya ku ji hêla pêvajoyê ve tê xwestin.Pêdiviya parastinê ya li devera tarî, dîwarê valahiyê û rûyê cîran jî pêdivî ye ku paqij were girtin.Dema ku jûreya valahiya paqij dikin, em parêzvaniyê dikin ku ji bo dermankirina perçeyên tozê, bi hewaya pêçandî re ji bo dermankirina perçeyên tozbar bikar bînin da ku bermahiyên şuştina zû yên li dora jûreyê jê bibin, û dûv re jî bi bêdengî rûyê derve bi kaxizên şînkirî yên alûmînayê paqij bikin.Piştî ku kaxeza gazê tê pîskirin, bi alkol, aceton û ava deyonîzekirî tê paqij kirin.Bi hev re, ew parêzvaniya karanîna valahiya pîşesaziyê ji bo paqijkirina alîkar dike.Armancên ku ji hêla Gaozhan metal ve têne hilberandin di tûrikên plastîk ên valahiya vegirtî de têne pak kirin,
Di nav ajanek-proof-ê de hatî çêkirin.Dema ku armanc bikar tînin, ji kerema xwe rasterast bi destê xwe nexin hedefê.Nîşe: dema ku armanc bikar tînin, ji kerema xwe destikên lênêrînê yên paqij û bê felq li xwe bikin.Tu carî bi destên xwe rasterast dest nedin hedefê
2, Paqijkirina armanc
Armanca paqijkirina armancê rakirina toz an qirêjiya ku dibe ku li ser rûyê armancê hebe.
Armanca metal dikare di çar gavan de were paqij kirin,
Gava yekem ev e ku meriv bi qumaşek nermik a ku di nav acetonê de tê rijandin paqij bike;
Pêngava duyemîn mîna gava yekem e, paqijkirina bi alkolê;
Gav 3: bi ava deionîzekirî paqij bikin.Piştî şuştina bi ava deionîzekirî, hedefê têxin firinê û di germahiya 100 ℃ de 30 hûrdeman hişk bikin.
Paqijkirina hedefên oksît û seramîk divê bi "cimaşê bêperis" were kirin.
Pêngava çaremîn ev e ku piştî rakirina devera toz bi argonê bi tansiyona bilind û gaza avê kêm şuştina armancê ye, da ku hemî pariyên nepakî yên ku dibe ku di pergala şuştinê de kemer çêbibin werin rakirin.
3, Amûra armanc
Di pêvajoya sazkirina armancê de, tedbîrên Z ên girîng ew e ku pêwendiyek germî ya baş a di navbera armanc û dîwarê sarbûna çeka şilandinê de peyda bikin.Ger şerê stûyê sarbûnê giran be an jî şerpezeya plakaya piştê dijwar be, dê amûrê armanc biqelişe an biqelişe, û gerîdeya germê ya ji hedefa paşîn berbi armancê dê pir bandor bibe, û bibe sedema têkçûna belavbûna germê. di pêvajoya sputteringê de, û armanc dê bişkîne an jî winda bike
Ji bo ku guheztina germî were misoger kirin, di navbera dîwarê sarbûna katodê û armancê de qatek kaxezek grafît dikare were pêçandin.Ji kerema xwe bala xwe bidin ku bi baldarî kontrol bikin û paqijiya dîwarê sarkirinê ya çeka şûştinê ya ku tê bikar anîn da ku pê ewle bibin ku O-ring her gav li cîhê xwe ye, kontrol bikin û zelal bikin.
Ji ber ku paqijiya ava sarbûnê ya ku tê bikar anîn û toza ku dibe ku di dema xebitandina amûrê de çêbibe dê di tanka ava sarbûna katodê de were razandin, pêdivî ye ku dema sazkirina armancê depoya ava sarbûna katodê were kontrol kirin û paqij kirin da ku aramiya xweş were misoger kirin. gera ava sarkirinê û ku ketina û derketinê neyê girtin.
Hin katod têne plan kirin ku bi anodê re cîhek piçûk hebe, ji ber vê yekê dema ku armanc tê saz kirin, pêdivî ye ku meriv pê ewle bibe ku di navbera katod û anodê de têkiliyek an rêgir tune ye, wekî din dê pêvekek kurt çêbibe.
Ji bo agahdariya li ser meriv çawa armanc bi rêkûpêk xebitîne, serî li Destûra operatorê amûrê bidin.Ger di manuala bikarhêner de agahdariya wusa tune, ji kerema xwe hewl bidin ku amûrê li gorî pêşniyarên têkildar ên ku ji hêla Gaozhan metal ve hatî peyda kirin saz bikin.Dema ku teşeya armancê hişk bikin, pêşî pêlekek bi destê xwe bixin, û dûv re jî pêlekek din li ser diagonalê bi destê xwe bixin.Vê yekê dubare bikin heya ku hemî pêlên li ser cîhazê hişk bibin, û paşê bi tiştek hişk bikin.
4, Kontrola kurt û hişkbûnê
Piştî qedandina cîhaza armancê, pêdivî ye ku meriv kurteya kurt û hişkiya tevahiya katodê kontrol bike,
Tê pêşniyar kirin ku bi karanîna metreya berxwedanê were destnîşankirin ka di katodê de pêlek kurt heye
Cûdahiya rêzê.Piştî ku piştrast kir ku di katodê de tixûbek kurt tune, tesbîtkirina lehiyê dikare were kirin, û av dikare bikeve nav katodê da ku piştrast bike ka rijandina avê heye.
5, Armanc berî şuştinê
Target pre sputtering parêzvaniya rijandina argonê ya paqij dike, ku dikare rûyê armancê paqij bike.Dema ku armanc ji berê ve tê rijandin, tê pêşniyar kirin ku hêdî hêdî hêza şilandinê zêde bibe, û rêjeya zêdebûna hêza armanca seramîk 1.5WH / cm2 ye.Leza pêşdibistanê ya armanca metal dikare ji ya bloka mebesta seramîk mezintir be, û rêjeyek zêdekirina hêza maqûl 1.5WH / cm2 ye.
Di pêvajoya pêşîlêgirtinê de, pêdivî ye ku em arşîva armancê kontrol bikin.Demjimêra pêşdibistanê bi gelemperî 10 hûrdem e.Ger diyardeyek arşîv tune be, bi domdarî hêza rijandinê zêde bikin
Ji bo hêza set.Li gorî ezmûnê, hêza Z-ya bilind a mebesta metal a pejirandî ye
25watt / cm2, 10watt / cm2 ji bo armanca seramîk.Ji kerema xwe di manuala xebitandina pergala bikarhêner de li bingehê sazkirinê û ezmûna zexta jûreya valahiya di dema şilandinê de binihêrin.Bi gelemperî, pêdivî ye ku meriv pê ewle bibe ku germahiya avê li derketina ava sarbûnê ji 35 ℃ kêmtir be, lê Z girîng e ku meriv pê ewle bibe ku pergala gerîdeya ava sarkirinê dikare bi bandor bixebite.
Germahiya bilez a ava supersar germê digire, ku ev garantiyek girîng e ji bo misogerkirina rijandina domdar bi hêzek bilind.Ji bo armancên metal, bi gelemperî tê pêşniyar kirin ku herikîna ava sarbûnê ye
Zexta avê ya 20lpm bi qasî 5gmp e;Ji bo armancên seramîk, bi gelemperî tê pêşniyar kirin ku herikîna avê 30lpm e û zexta avê bi qasî 9gmp e.
6, Parastina armanc
Ji bo pêşîlêgirtina kurtefîlm û kelûpelên ku ji ber valahiya nepaqij di pêvajoya şuştinê de çêdibin, pêdivî ye ku pîvaza ku li navend û her du aliyên rêça şilandinê hatiye berhevkirin gav bi gav were rakirin,
Ev di heman demê de ji bikarhêneran re dibe alîkar ku bi domdarî di dendika hêza bilind de bişopînin
7, Depokirina armanc
Armancên ku ji hêla Gaozhan metal ve têne peyda kirin di çenteyên plastîk ên valahiya du qat de têne pak kirin.Em parêzvaniyê dikin ku bikarhêner hedefan, çi metal an seramîk, di pakkirina valahiya de bihêlin.Bi taybetî, pêdivî ye ku armancên girêdanê di bin şert û mercên valahiya de werin hilanîn da ku pêşî li oksîdasyona qata girêdanê li ser kalîteya girêdanê bigire.Di derbarê pakkirina armancên metal de, em diparêzin ku Z divê di kîsikên plastîk ên paqij de were pak kirin
Dema şandinê: Gulan-13-2022