Fîlma nazik a li ser hedefa pêçandî şeklek materyalek taybetî ye.Di rêça taybetî ya stûrbûnê de, pîvan pir piçûk e, ku mîqdarek pîvandî ya mîkroskopî ye.Digel vê yekê, ji ber xuyang û pêwendiya stûrbûna fîlimê, domdariya materyalê bi dawî dibe, ku ev yek dihêle ku daneyên fîlim û daneyên armancê xwedan taybetmendiyên hevpar ên cihêreng bin. Û armanc bi giranî karanîna xêzkirina magnetronê ye, edîtera Beijing Richmat dê me bigihîne fêmkirinê. prensîb û jêhatîbûna xêzkirina rijandinê.
一、 Prensîba rijandina sputtering
Zehmetiya pêlavkirina şûştinê ew e ku meriv xuyangê hedefa gulebarana îyonê bikar bîne, atomên armanc ji diyardeya ku wekî şûştinê tê zanîn têne lêdan.Ji atomên ku li ser rûyê binê substratê têne razandin, jê re tê gotin ku sputtering. hedefa katodê, û difire ser rûyê substratê da ku di fîlimek de were razandin. Bi tenê, pêlava rijandinê ji bo hilberandina îyonan, tîrêjê kêm tîrêjê gaza bêserûber bikar tîne.
Bi gelemperî, kelûmelên rijandina fîlimê bi du elektrodê di jûreyek dakêşana valahiyê de, û armanca katodê ji daneyên xêzkirinê pêk tê.Odeya valahiya bi gaza argon a bi zexta 0,1~10Pa dagirtî ye.Rakirina şewqê li katodê di bin çalakiya voltaja bilind a neyînî ya 1~3 kV dc an voltaja rf ya 13,56 mhz de çêdibe. Îyonên argon rûyê hedefê bombebaran dikin û dibin sedem ku atomên hedefê yên rijandin li ser substratê kom bibin.
二、Taybetmendiyên jêhatîbûna çîpkirinê
1, Leza barkirina bilez
Cûdahiya di navbera elektroda lêdana magnetronê ya leza bilind û elektroda şuştinê ya kevneşopî ya du qonax de ev e ku magnet li binê armancê hatî rêz kirin, ji ber vê yekê qada magnetîkî ya girtî li ser rûyê armancê çêdibe. Hêza lorentz a li ser elektronan ber bi navendê ve ye. qada magnetîkî ya heterojen.Ji ber bandora balkişandinê, elektron kêmtir direvin.Qada magnetîkî ya heterojen li dora rûyê armancê diçe, û elektronên duyemîn ên ku di qada magnetîkî ya heterojen de têne girtin bi molekulên gazê re çend caran li hev dikevin, ku ev yek rêjeya veguheztina bilind a molekulên gazê baştir dike. Ji ber vê yekê, şuştina magnetron a bilez hêza kêm dixwe, lê dikare bi taybetmendiyên dakêşanê yên îdeal re karbidestiyek pêlavê ya mezin bistîne.
2, Germahiya substratê kêm e
Sputtering magnetron bi leza bilind, ku wekî şilkirina germahiya nizm jî tê zanîn.Sedem jî ev e ku cîhaz di cîhek zeviyên elektromagnetîk ên ku rasterast li hevûdu veqetandî bikar tîne.Elektronên duyemîn ku li derveyê armancê, di nav hev de çêdibin.Di bin çalakiya zeviyek elektromagnetîk a rast de, ew li nêzî rûyê armancê tê girêdan û li ser rêçê di xetek gerokek dorveger de dimeşe, çend caran li molekulên gazê dixe da ku molekulên gazê jonîze bike. Bi hev re, elektron bixwe hêdî hêdî enerjiya xwe winda dikin, bi riya pêlên dûbare, heta ku enerjiya wan hema hema bi tevahî winda bibe berî ku ew ji rûyê hedefê li nêzî substratê birevin.Ji ber ku enerjiya elektronan pir kêm e, germahiya armancê zêde bilind nabe.Ew bes e ku li hember zêdebûna germahiya substratê ya ku ji ber bomberdûmana elektronê ya bi enerjiya bilind a guleyek dîodê ya asayî, ku krîogenîzasyonê temam dike, berteref bike.
3, Rêzek berfireh a strukturên membranê
Struktura fîlimên tenik ên ku bi evaporkirina valahiya û rakêşana derzîlêdanê têne wergirtin ji ya ku ji hêla ziravkirina kelûmelên giran ve têne wergirtin cûda ye.Berevajî maddeyên bi gelemperî yên heyî, yên ku di sê pîvanan de di esasê xwe de wekî heman avahiyek têne dabeş kirin, fîlimên ku di qonaxa gazê de hatine razandin wekî strukturên heterojen têne dabeş kirin.Mezinbûna stûnê ya fîlimê ji ber rûxara xwerû ya orjînal a substratê û çend siyên di beşên berbiçav ên substratê de pêk tê.Lêbelê, şekl û mezinahiya stûnê ji ber germahiya substratê, belavbûna rûbera atomên lihevkirî, veşartina atomên nepaqijiyê û goşeya rûdanê ya atoman li gorî rûbera substratê bi tevahî cûda ne.Di nav rêza germahiya zêde de, fîlima nazik xwedan avahiyek fîbrî ye, dendika bilind, ku ji krîstalên stûnê yên spehî pêk tê, ku strukturek bêhempa ya fîlima şilandinê ye.
Zexta şilandinê û leza berhevkirina fîlimê jî bandorê li avahiya fîlimê dike.Ji ber ku molekulên gazê xwedî bandor e ku belavkirina atoman li ser rûyê substratê tepisandin, bandora tansiyona bilind a rijandinê ji bo daketina germahiya substratê di modelê de maqûl e.Ji ber vê yekê, fîlimên poroz ên ku di nav deniyên hûr de hene dikarin di zexta rijandina bilind de werin bidestxistin.Ev fîlima mezinahiya genimê piçûk ji bo rûnkirin, berxwedana liberxwedanê, hişkbûna rû û sepanên mekanîkî yên din maqûl e.
4, Kompozîsyonê bi rengek wekhev saz bikin
Pêkhatin, tevhevok, alloy û hwd., yên ku bi guheztina valahiya bi guncan têne pêçandin ji ber ku zexta buharê ya pêkhateyan cûda ne an jî ji ber ku ew dema germ dibin ji hev cuda dibin. Rêbaza kelandina şûştinê ew e ku meriv qata rûbera atoman qat bi qat çêbike. ji bo substratê, di vê wateyê de jêhatîbûna çêkirina fîlimek bêkêmasî ye.Hemî celeb materyal dikarin di hilberîna pêlavên pîşesazî de bi şipandinê werin bikar anîn.
Dema şandinê: Avrêl-29-2022